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電子線リソグラフィ教本
| 著者 | |
| 記事番号 | 5721462244 |
| JA - US | |
 |
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電子線描画装置 Wikipedia ~ 電子線描画装置の種類 スポットビーム（ポイントビーム） 電子銃（エミッタ、またはカソード）から発せられる電子線の断面形状が円形をしており、偏向器（デフレクタ）およびXYステージの移動に同期させながら連続照射してパターン描画を行うことを特徴とする。
git repository browser ~ Δ変調 α線 β線 γ線 〆切 あ ああ ああだ ああな あい あいあい あいいれな あいうち あいかわらず あいがも あいくるし
NTS ~ ～限界を超えるポスト光リソグラフィ技術～ 触り心地の制御、評価技術と新材料・新製品開発への応用 金属破損解析ハンドブック ～原理から機構，事例研究，欠陥検出，防止まで～ リソグラフィ技術 その40年 Brown粒子の運動理論
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